SDW系列直流溅射电源
SDW系列直流溅射电源，采用高频电力电子和软开关技术，基于高速数字控制平台，实现输出宽范围连续调节，为PVD类溅射镀膜工艺设备开发。可广泛用于工业、泛半导体和半导体行业，如工具金属镀膜、手机外壳金属镀膜、装饰镀膜、太阳能电池镀膜等。
主要特点
输入PFC整流，电流谐波小，功率因数高
输出恒压、恒流、恒功率三种模式可选，自动切换
点火电压高、中、低可选
输出储能低，＜1mJ/kW
智能弧管理功能
电弧响应速度快，＜1μs
丰富的控制接口，配备显示屏，操作便捷
机架式模块化设计，可并机