SMF系列中频溅射电源
SMF系列中频溅射电源，可实现输出直流、直流脉冲、双极性方波、双极性梯形波等波形。可应用于PVD、PECVD和反应溅射等各种真空镀膜工艺，在太阳能电池、半导体制造、耐磨装饰涂层涂覆以及建筑玻璃镀膜等行业都有广泛应用。
主要特点
输入PFC整流，电流谐波小，功率因数高
机架式模块化设计
输出两路电气隔离，可独立输出
丰富的输出波形种类及波形编程功能
输出恒压、恒流、恒功率三种模式可选，自动切换
输出储能低，＜0.3mJ/kW
多种电弧检测机制及智能弧管理控制功能
电弧响应速度快，＜1μs
丰富的控制接口，配备显示屏，操作便捷