SRF系列射频电源
SRF系列射频电源采用数模混合控制及高精测量技术，固定频率输出，输出功率具备宽范围、高精度、高可靠性及高稳定性等特点；标配CEX同步，可选配单级脉冲功能，满足多种工艺需求，辅助完成更高的工艺稳定性和控制。可广泛应用于光伏、面板、半导体行业、科研、制造业等领域，适用ETCH、PECVD等工艺设备。
主要特点
数模混合控制架构
高精度测量系统
快速CEX相位同步
丰富的人机交互接口
高可靠性射频输出
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数模混合控制架构
高精度测量系统
快速CEX相位同步
丰富的人机交互接口
高可靠性射频输出