SMH 系列自动匹配器
SMH 系列自动匹配器是一款高精度、高速响应的阻抗匹配设备，精准契合半导体工艺高速发展的核心需求。产品内置高精度采集系统，搭载业内领先的智能匹配算法，实现匹配过程快速、稳定、精准控制；支持自动与手动两种控制模式，具备优异的运行可靠性，可适配半导体行业严苛工况。该系列产品广泛适用于离子刻蚀、去胶、PECVD 等低温等离子体发生设备，全面满足主流半导体工艺对阻抗匹配的严苛要求。
主要特点
全数字化控制系统
丰富的人机交互接口
内置高精度VI Sensor
智能快速匹配算法
高速高精度测量系统
支持Web可视化监测